根据我国《土地管理法》规定，集体土地征用补偿款应由用地单位支付。具体流程如下：

  1. 市、县人民政府土地行政主管部门拟定征地补偿安置方案
  2. 补偿费用从征地批准之日起3个月内全额支付
  3. 补偿款通过财政专项账户拨付至农村集体经济组织账户
  4. 由集体经济组织按照村民会议确定的分配方案进行分配

特殊情况下，若用地单位未按期支付，市县政府应当先行垫付，再向用地单位追偿。