根据《中华人民共和国土地管理法》规定，集体土地的征地补偿费由用地单位支付。具体支付流程如下：

  1. 市、县人民政府土地行政主管部门拟定征地补偿安置方案
  2. 补偿费用从征地批准之日起3个月内全额支付
  3. 补偿费通过财政专项账户拨付到农村集体经济组织账户
  4. 由集体经济组织按照村民会议讨论通过的分配方案进行分配

特殊说明：若土地出让采用"先补偿后征收"程序，补偿费可能由土地储备机构等政府指定单位先行垫付。