外商投资股份有限公司的设立程序主要包括以下步骤：
- 项目核准/备案：向发改委或商务部门申请项目核准或备案。
- 名称预先核准：向市场监管部门申请公司名称预核准。
- 合同章程审批：向商务部门提交合同、章程等文件进行审批。
- 领取批准证书：商务部门批准后领取《外商投资企业批准证书》。
- 工商注册登记：持批准证书向市场监管部门办理营业执照。
- 外汇登记：向外汇管理局办理外汇登记手续。
- 银行开户：在银行开立资本金账户和基本账户。
- 税务登记：向税务机关办理税务登记并领取税务证件。
- 后续备案：完成海关、统计等部门的备案手续。
