成立外商投资企业流程如下：

  1. 确定投资形式：选择独资、合资或合作企业模式
  2. 名称预先核准：向市场监管部门提交企业名称申请
  3. 准备申请材料：包括投资方公证认证文件、可行性研究报告等
  4. 商务部门备案/审批：通过外商投资综合管理系统提交材料
  5. 办理营业执照：向市场监管部门申请企业登记
  6. 后续手续办理：包括外汇登记、税务备案等

注意事项：不同行业可能涉及特别审批要求，建议提前咨询专业机构。