外商独资企业设立程序如下：

  1. 名称预先核准：向工商部门提交企业名称申请
  2. 商务部门审批：提交可行性研究报告、公司章程等材料
  3. 营业执照申领：通过审批后领取《外商投资企业批准证书》
  4. 工商注册登记：30日内向工商部门申请设立登记
  5. 刻制公章：凭营业执照刻制企业印章
  6. 外汇登记：向外汇管理局办理外汇登记证
  7. 税务登记：30日内向税务机关办理税务登记
  8. 海关登记（如需）：涉及进出口业务需办理海关登记