外商投资企业设立程序主要包括以下步骤：

  1. 项目核准/备案：向发改委或商务部门提交申请材料，取得《外商投资项目核准/备案回执》。
  2. 名称预先核准：在市场监管部门办理企业名称预登记。
  3. 合同章程审批：商务部门审核合资/合作合同及公司章程（外资企业免合同审批）。
  4. 营业执照申领：通过"一窗通"平台向市场监管部门提交设立登记材料。
  5. 外汇登记：在银行办理外汇登记账户开立。
  6. 后续手续：包括刻章备案、税务登记、海关备案等（视企业经营范围而定）。

注：自贸试验区实行负面清单管理，部分行业可适用备案制。