外商投资企业设立程序主要包括以下步骤：

  1. 项目核准/备案：向发改委或商务部门提交申请材料，取得项目核准或备案文件。
  2. 名称预先核准：在市场监管部门办理企业名称预登记。
  3. 合同章程审批：商务部门审批合资/合作企业合同章程（外商独资企业无需此步骤）。
  4. 营业执照申领：向市场监管部门提交设立登记材料，领取营业执照。
  5. 外汇登记：在银行办理外汇登记，开设资本金账户。
  6. 后续手续：包括刻章、税务登记、海关备案、社保公积金开户等。

注：不同地区或行业可能存在特殊要求，建议咨询当地主管部门。