设立外商投资创业投资企业的程序如下：
- 项目核准/备案：向省级商务主管部门或国家发改委提交申请材料，取得外商投资项目核准/备案文件。
- 企业名称预核准：在市场监管部门办理企业名称预先核准登记。
- 商务审批：向省级商务部门提交设立申请材料，获取《外商投资企业批准证书》。
- 工商注册：持批准证书到市场监管部门办理营业执照。
- 外汇登记：向外汇管理局办理外汇登记手续。
- 税务登记：在税务机关完成税务登记及税种核定。
- 后续备案：完成海关、外汇、社保等后续备案手续。
注：具体材料可能包括投资协议、资信证明、可行性研究报告等，不同地区可能存在流程差异。
